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第二篇：8-12英寸先进半导体工艺研发平台环境影响评价报告书 3600字

8-12英寸先进半导体工艺研发平台

环境影响评价报告书

上海环境热线建设单位：上海集成电路研发中心有限公司环评单位：上海师范大学 简本 20xx年9月 www.

1、 说明

上海师范大学受上海集成电路研发中心有限公司委托开展对8-12英寸先进半导体工艺研发平台环境影响评价。现根据国家及本市法规及规定，并经过上海集成电路研发中心有限公司同意向公众公开环评内容。

2、 项目概况

（1） 工程名称：8-12英寸先进半导体工艺研发平台

（2） 建设单位：上海集成电路研发中心有限公司

（3） 建设性质：新建项目

（4） 项目内容：在原有芯片厂房内，已有中试线基础上，建设一个净化级别

备，形成一个8-12英寸、工艺能力可至90-65纳米的工艺研发平台。

（5） 建设地点：张江高科技园区14街坊3丘（高斯路497号芯片厂房内）

3、 所在地区域环境质量现状

（1） 环境功能区划

根据上海市环境空气质量功能区划规定，项目所在区域为环境空气质量二类区。

根据上海市噪声功能区划，项目所在区域声环境为2类功能区。

（2） 环境现状质量评估

① 大气环境现状质量评估

根据大气现场监测数据来看，建设项目所在地的环境空气质量状况优良，达到《环境空气质量标准》（GB3095-1996）中的二类标准要求，各污染因子均有较大的环境容量。

② 声环境质量现状评价

根据噪声现场监测数据来看，本建设项目四周边界噪声达到了《声环境质量标准》（GB3096-2008）中的2类标准要求。

上海环境热线ww根据上海市水环境功能区划规定，项目所在区域地面水环境为Ⅳ类功能区。 w.envir.gov为1000-100级，面积约800-1000平方米的洁净室，同时配套部分工艺设.cnwww.

4、 评价范围

本项目工艺主要为芯片制造工艺，产生的主要污染物为废水、废气、噪声和固体废物。因此项目的环境评价范围为：

（1）水环境影响评价工作等级

本项目生产废水主要为酸碱废水、含氟废水、CMP废水以及纯水生产排放水以及生活污水。以上各废水经废水处理系统处理达标后纳管排放至上海市白龙港污水处理厂。

因此，本项目不进行地表水环境影响评价，仅进行纳管排放的可行性分析。

（2）大气环境影响评价工作等级

物、HCl、Cl2、非甲烷总烃、氨等。通过高度25米以上的排气筒达标排放。可则》，大气环境评价为三级评价。

（3）噪声环境影响评价工作等级

根据《上海市环境噪声标准适用区划》(沪环保控[2008]143号，20xx年6量2类标准适用区，并且，项目建设前后评价范围内敏感目标噪声级增高量小于3dB(A)。根据《环境影响评价技术导则·声环境》(HJ/T2.4-2009)本项目噪声环境影响评价工作等级为三级。

声环境评价范围选定为本项目范围内。

（4） 风险评价等级

本项目使用的化学品主要有H2SO4、HF、HCl、Cl2、氨气等，根据HJ/T169-2006，这些物质均不在《建设项目环境风险评价技术导则》（HJ/T169-2004）附录一和《危险化学品重大危险源辨识》（GB 18218-2009）目录中，且项目所在区域为工业园区，属于非敏感区域，因此，评价等级确定为二级。

上海环境热线ww月1日起实施)中相关规定，本项目所在的浦东新区张江高科技园区为声环境质w.envir见，废气有达标排放的治理措施，能实现达标排放。按《环境影响评价技术导.gov从环境空气影响分析，本项目主要废气中污染物有H2SO4、NOx、氟化.cnwww.

根据评价等级，环境风险评价范围为项目周边3km。

5、 评价重点

根据本项目情况，工作重点主要是通过工程分析，明确项目生产工艺和清洁生产水平，确定建设项目各主要污染源的源强、治理措施和排放特征，以使本项目对环境的影响降低到最低程度。

6、 主要敏感目标

项目所在区域为浦东新区金桥出口加工区南区，项目周围均为工厂，主要环境影响敏感目标为周边1km以内的小区住宅及学校。

7、 建设项目环境影响分析

（1） 工程分析

根据项目工艺分析，本项目的主要污染源主要来自于芯片制造工艺。本项·清洗工序产生的酸碱废水、含氟废水、CMP废水，纯水生产的排放水以及生活污水

·空压机、冷冻机、排风机、空调机、水泵、真空泵、循环泵及燃油备用发电机组

·工艺中产生的废金属、废玻璃、废芯片、可回收包装材料

CuSO4废液、废有机溶剂、废光刻胶、污水处理站污泥

（2） 环境风险

本项目生产过程中使用化学品主要有乳化液、清洗剂和防锈油等，均分类储存于现有的化学品仓库。根据《危险化学品重大危险源辨识》（GB18218-2009），这些物质均不在目录中，故本项目不涉及有毒物质和易燃物质。

8、 建设项目环境保护措施分析

（1） 污染物防治措施

① 废水

上海环境热线ww·少量的硫酸废渣、磷酸废渣、显影废液、异丙醇废液、硫酸氨废液、w.envir·芯片制造过程中产生的酸碱废气、有机废气、有毒废气等 .gov目实施后产生的主要污染物有： .cnwww.

生产废水主要为酸碱废水、含氟废水、CMP废水，经厂区内废水处理系统达到《污水排入城镇下水道水质标准》(DB31/445-2009)相关标准后，纳入至高斯路市政污水管道，最后排入白龙港污水处理厂处理后外排长江。

因此，本项目的污水纳管是可行的。

② 废气

所有产生废气污染拟采取的措施可以归纳为：

? 碱性废气：以H2SO4为介质进行吸收洗涤处理，处理后尾气由25米高排

气筒排入大气。

? 酸性废气：以NaOH为吸收液的洗涤塔喷淋吸收，处理后尾气由25米高? 有机废气：系统将废气收集后由活性炭吸附处理后，由25米高的排放口循环泵及燃油备用发电机组。本项目购置低噪声高效率设备，原有厂房具有隔声门、窗，密闭性好。根据预测的结果，本项目昼、夜间四周厂界外1米处均≤60dB(A)、夜间≤50dB(A)。

根据以上分析，项目所采取的降噪处理设施可行。

④ 固体废物

本项目产生的固体废弃物主要来自工业固废和生活垃圾。其中工业固废分为一般固废和危险废物。具体分类如下：

一般工业固废：属于可回收利用的固废，分类收集后，作为工业固废处理，或由供货商回收利用，或送废品站处置。

危险废弃物：应收集在专门的容器内，定期送至具有《上海危险废物经营许可证》的单位集中处置，不得随意倾倒。

生活垃圾：应由浦东新区环卫局负责清运，送至老港垃圾堆场填埋

上海环境热线ww达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)2类标准，即昼间w.en本项目主要噪声源为空压机、冷冻机、排风机、空调机、水泵、真空泵、vir25米高排气口排入大气。 ③ 噪声 .g? 高毒性气体：先在专用处理装置处理后，再经湿式洗涤塔洗涤，尾气由ov排入大气。 .cn排气筒排入大气。 www.

因此，本项目固体废物均100%处置。

（2） 环境风险控制

本项目没有重大危险源。

上海通用汽车现有总图和建筑布置满足国家和地方的相关法规，已建立较完善的化学品管理和应急预案。通过采取适当的风险控制措施和对策，可以最大限度地降低环境风险，其风险影响水平是可以接受的。

（3） 总量控制

由于本项目产生的废水全部处理达标后纳入市政污水管网，不直接排入当地地表水；本项目生产过程不使用燃料。因此本项目无总量控制指标。

9、 公众参与方式及阶段性成果

（1） 公示

式进行。本项目于20xx年8月31日至20xx年9月13日在上海环境热线网上进行了项目环境影响评价第一次网上公示。

（2） 公众参与调查问卷

同时，组织工作人员至项目建设地，对项目周边可能受影响的单位、居民、家庭代表等进行了现场调查。公众参与调查问卷于20xx年9月上旬进行。

统计结果表示：被调查人员多数人员对项目有一定的了解，绝大多数被调大，并希望采取相应的环保措施以减轻其造成的负面影响。绝大多数被调查人员认可项目建设的必要性，认为项目建设会对本地区经济发展带来新的契机。

10、 结论

本项目为8-12英寸先进半导体工艺研发平台，生产工艺为芯片制造。项目的建设符合上海市和金桥地区产业规划，符合国家和地方环保政策。采用的工艺先进，运行过程中产生污染少，符合清洁生产要求。项目建成后对环境影响较小，不会改变当地环境区域等级。因此从环保角度评价，项目建设可行。

上海环境热线ww查人员认为本项目建设是有必要的，大多数被调查人员认为噪声对其影响较w.envir.gwww.ov本次调查采用网上公示、现场发布公告以及现场发放公众意见调查表的形.cn

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