经管系电子商务专业毕业设计指南

1、毕业设计（论文）的目的

毕业设计(论文)是本、专科生培养过程中重要的组成部分，是毕业前学生进行全面综合训练，培养学生综合素质、创新意识和创新能力的一个重要的实践性教学环节，是对学生知识、能力和素质的综合考核。毕业设计（论文）这一重要的实践环节，对于培养学生初步的科学研究能力，提高其综合运用所学知识分析问题、解决问题能力、培养学生的效益意识、全局观念和团队协作精神、乃至语言表达和撰写技术报告（或论文）的能力有着重要意义。作为大学生而言，毕业设计（论文）是完成学业的标志性作业，是所学知识的总结，是综合能力的检阅。创造性地综合运用所学基本理论和技能，独立完成本专业范围内项目设计或专业工作是一个高校毕业生走向社会应具体任务具备的基本条件。

本指南是在新余学院教务处的毕业设计(论文)工作管理办法的指导下专门为经管系电子商务专业的毕业生制定的。通过毕业设计（论文）的实施和写作，使学生在实际的电子商务系统管理与工程实际中，充分利用所学的专业知识，理论联系实际，独立开展工作，从而使学生具备从事电子商务工作的实际能力。为了提高我系电子商务专业毕业生毕业设计写作的整体水平，经管系管理教研室决定把电子商务专业的毕业设计与参加教育部主办的全国大学生电子商务“创新、创意及创业”挑战赛以及中国互联网协会建行“e路通”杯全国大学生网络商务创新应用大赛（简称“e路通”大赛）等比赛结合起来由学生组成毕业设计团队的形式来实施，团队人数最多不超过三名学生，每个学生各自承担毕业设计选题中的一个分解的子课题，互相协作，共同完成整个毕业设计。

全国大学生电子商务“创新、创意及创业”挑战赛（以下简称三创赛）是由教育部高等学校电子商务专业教学指导委员会（以下简称教指委）面向全国高校（含港澳台地区）举办的大学生竞赛项目，是教育部、财政部“高等学校本科教学质量与教学改革工程”重点支持项目。“e路通”大赛是由中国互联网协会主办的全国性的一类赛事，是工信部“阳光绿色网络工程”的重要构成，得到了工信部的指导。这两个大赛一般每年举办一次，在下半年10或者11月份启动，至第二年5月份结束，大赛开创性地以企业真实问题为比赛项目，由学校组织或学生自发组成不多于5人的参赛团队，应用指定的网络工具策划并实施方案，解决企业的商业问题。比赛期间学生与企业间进行直接的沟通与交流，并穿插相应的师资培训、专家点评等。最终由企业和专家共同组成的评委会，以真实的市场数据和效果，评出优胜者。因此通过参加大赛, 有利于促进我系电子商务专业的学生对社会和企业运作现实的感知和了解，促进学生职业能力与企业人才需求之间的沟通和协调发展，为此我系电子商务专业的学生要求组队参赛，并按照大赛的要求进行毕业设计，毕业设计方案通过大赛的竞赛机制得到不断的完善与提高，最终实现以下毕业设计的目的：

（1）培养学生综合运用所学知识和技能，解决电子商务系统分析、设计、实施和电子商务系统管理中实际问题的能力；

（2）培养学生调查研究与信息收集、整理的能力；

（3）培养和提高学生的自学能力和计算机实际应用能力；

（4）培养和提高学生的文献检索及中外文资料的收集、阅读能力与外文资料的翻译能力；

（5）培养和提高学生的科技论文写作能力；

（6）培养学生的创新意识、严谨的治学态度和求实的科学作风以及刻苦钻研的精神。

2 毕业设计团队组建与要求

2.1、团队的组建

1、每个团队的学生数为3人，其组成可为同一专业的学生，也可为跨专业、跨学科的学生。

2、每个团队可以选择一个或多个指导教师，每个团队的指导教师多于3人。

3、整个团队的课题易于拆解为几个有机联系的若干子课题，每个学生各自承担一个分解的子课题。

4、每个学生需完成各自子课题的毕业设计（论文），并由团队组长汇总成团队毕业设计（论文）。

2.2、毕业设计（论文）团队的要求

1、毕业设计（论文）团队组成前填写《毕业设计（论文）团队申请表》（见附录2）。毕业设计（论文）团队的选题需经过指导老师同意、由教研室讨论审核、系主任审批。

2、团队成员要有协作性，相互有交流、协作和帮助；团队成员要承担各自的责任，不允许有代作现象。

3、毕业设计（论文）团队的答辩：首先由课题组成员进行子课题答辩，然后由团队组长进行团队整体答辩。团队答辩除考察原规定内容外，同时考察团队协作性。答辩小组分别给出子课题答辩成绩和团队整体答辩成绩。

3.毕业设计（论文）的选题原则和参考题目

3.1 选题的基本原则

毕业设计（论文）作为本专业在校教育的最后一个环节，而毕业设计（论文）的选题在整个过程中是至关重要的一步，是成功的关键所在。选题的基本原则有两点，即选题应具有很强的综合性和实践性。综合性是指从本专业的发展状况出发，充分反映现代管理理论、系统科学方法和信息技术的有机结合。实践性是指从计算机系统建设和系统管理实践出发，题目要有很强的实际背景，从而在实际的科研课题研究、工程项目或产学研结合的工作中，培养学生分析、解决实际问题的能力。

3.2 论文参考题目

为了遵循以上的两个选题原则，我系电子商务专业的毕业生的毕业设计选题在指导教师的指导下完成，可以选用“三创赛”和“e路通”大赛提供的企业真实问题、现实中企业的商业问题或自己的创业项目作为选题。

研的问题。

4 电子商务专业毕业设计（论文）要求

一篇完整的毕业设计说明书或毕业论文有题目、摘要、目录、正文、结论、参考文献、附录和谢辞等几部分构成。要求理工科专业不少于4000字，文科专业不少于6000字。

4.1 毕业设计（论文）的总体要求

（1） 要求学生必须充分认识毕业设计（论文）的重要性，严格按要求开展毕业设计（论文）工作，

努力学习、刻苦钻研、勇于创新、勤于实践，保质保量地完成毕业设计（论文）任务书所规定的任务。在指导教师的指导下，做好电子商务网站设计规划与制作以及毕业论文写作所需资料的搜集工作。

（2） 尊重指导教师，虚心接受指导教师的指导和检查，定期向指导教师汇报毕业设计（论文）进

度情况；

（3） 毕业设计(论文) 任务应包括资料阅读、对实际问题的调查分析、用户调查与分析、数学模

型或逻辑模型的建立或分析、问题的解决方案或实现方法与技术的研究、拟定并实施设计方案、设计制作、设计报告书撰写、总结以及对求解与实现结果的分析评价等工作环节。

（4） 毕业设计(论文)要在本专业中选择有价值的课题，对所研究的课题有新的见解，并能表明作

者在本门学科上掌握了坚实的基础理论和成熟的操作技能，具有开创性工作的能力。课题最终由指导小组审核确定。

（5） 毕业设计（论文）任务必须由学生本人在指导教师指导下独立进行，要求学生独立完成毕业

设计（论文）任务书规定的任务，充分发挥主动性和创造性，严谨求实，严厉杜绝抄袭，树立良好的科学作风，培养良好的学术道德。

（6） 毕业设计（论文）必须有进度要求、有明确的阶段成果，指导教师要定期进行检查。此外，

毕业设计（论文）任务应有一定的工作量要求。

4.2 基本技能要求：

如果学生选择的毕业（设计）论文是做电子商务系统（或商务网站）的开发，则应掌握以下的基本开发工具和技能。

? 要求能够熟练掌握和运用某种网页制作工具软件。如：Dreamweaver 4.0；FrontPage 2000；

HTML语言等；

? 要求能够掌握某种图形图像和动画制作软件。如：Photoshop 6.0，Flash 5.0等。

? 要求能够基本掌握至少一种动态网页编程技术或开发工具（如：ASP技术、JSP、JavaScript、

VBscript、JavaApplet等）、ADO与ODBC（或Visual InterDev 6.0/2000），但如没有开

设有关动态编程技术课程，则可暂时不做这一要求，但应实现电子商务网站的基本框架。 ? 要求能够基本掌握至少一种数据库技术及其在Internet上的具体应用（如：MS Access

2000、MS SQL2000等）。

要求能够基本掌握电子商务网站系统的规划、功能需求分析、方案制定、系统分析、系统实现、设计制作等应用技术。

4.3、毕业设计说明书撰写的主要内容与基本要求

一份完整的毕业设计说明书应包括如下主要内容：

1．题目

设计课题名称，要求简洁、确切、鲜明。

2．中外文摘要

应扼要叙述本设计的主要内容、特点，文字要简练。中文摘要约300字左右；外文摘要约250个实词左右。

3．目录

主要内容的目录。

4．正文

（1）设计方案论证：应说明设计原理并进行方案选择。应说明为什么要选择这个方案（包括各种方案的分析、比较）；还应阐述所采用方案的特点（如采用了何种新技术、新措施、提高了什么性能等）。

（2）设计及计算部分：这是设计说明书的重要组成部分，应详细写明设计结果及计算结果。

（3）样机或试件的各种实验及测试情况：包括实验方法、线路及数据处理等。

（4）方案的校验：说明所设计的系统是否满足各项性能指标的要求，能否达到预期效果。校验的方法可以是理论分析（即反推算），包括系统分析；也可以是实验测试及计算机的上机运算等。

5．结论

概括说明本设计的情况和价值 ，分析其优点、特色，有何创新，性能达到何水平，并指出其中存在的问题和今后的改进方向。

6．参考文献与附录

在说明书的谢辞之后，应列出主要参考文献，并将各种篇幅较大的图纸、数据表格、计算机程序等附于说明书之后。

7．谢辞

简述自己通过本设计的体会，并对指导老师和协助完成设计的有关人员表示谢意。

4.4、毕业论文撰写的主要内容与基本要求

1．题目

题目应该简短、明确，要有概括性，让人看后能大致了解文章的确切内容、专业的特点和学科的范畴。题目的字数要适当，一般不宜超过20字。

2．中外文摘要

摘要也称内容提要，应当以浓缩的形式概括研究课题的主要内容、方法和观点，以及取得的主要成果和结论，应反映整个论文的精华。中文摘要约300字左右为宜，同时要求写出250个实词左右的外文摘要。

摘要应写得扼要、准确，一般在毕业论文全文完成后再写摘要。在写作中要注意以下几点：

（1）用精练、概括的语言表达，每项内容均不宜展开论证。

（2）要客观陈述，不宜加主观评价。

（3）成果和结论性意见是摘要的重点内容，在文字上用量较多，以加深读者的印象。

（4）要独立成文，选词用语要避免与全文尤其是前言和结论雷同。

（5）既要写得简短扼要，又要行文活泼，在词语润色、表达方法和章法结构上要尽可能写得有文采，以唤起读者对全文的阅读的兴趣。

3．目录

论文编写完成后，为了醒目和便于读者阅读，可为论文编写一个目录。目录可分章节，每一章节之后应编写页码。

5．正文

正文是作者对自己研究工作的详细表述。它占全文的较多篇幅。主要内容包括研究工作的基本前提、假设和条件；模型的建立，实验方案的拟定；基本概念和理论基础；设计计算的主要方法和内容；实验方法、内容及其结果和意义的阐明；理论论证，理论在实际中的应用等等。根据课题的性质，论文正文允许包括上述部分内容。

正文的写作要求：

（1）理论分析部分应写明所作的假设及其合理性，所用的分析方法、计算方法、实验方法等哪些是别人用过的，哪些是自己改进的，哪些是自己创造的，以便指导教师审查和纠正。这部分所占篇幅不宜过多，应以简练、明了的文字概略表达。

（2）课题研究的方法与手段分别用以下几种方法说明。

用实验方法研究课题，应具体说明实验用的装置、仪器、原材料的性能是否标准，并应对所有装置、仪器、原材料做出检验和标定。对实验的过程或操作方法，力求叙述得简明扼要，对人所共知的或细节性的内容不必详述。

用理论推导的手段和方法达到研究目的的，这方面内容一定要精心组织，做到概念准确，判断推理符合客观事物的发展规律，符合人们对客观事物的认识习惯与程序。换言之，要做到言之有序，言之有理，以论点为中枢，组织成完整而严谨的内容整体。

用调查研究的方法达到研究目的的，调查目标、对象、范围、时间、地点、调查的过程和方法等，这些内容与研究的最终结果有关系，但不是结果本身，所以，一定要简述。但对调查所提供的样本、数据、新的发现等则应详细说明，这是结论产生的依据。若写得抽象、简单、结论就立之不牢，分析就难以置信，写作中应特别予以重视。

（3）结果与讨论是全文的心脏，一般要占较多篇幅，在写作时，应对研究成果精心筛选，把那些必要而充分的数据、现象、样品、认识等挑选出来，写进去，作为分析的依据，应尽量避免事无巨细，把所得的结果和盘托出。在对结果作定性和定量分析时，应说明数据的处理方法以及误差分析，说明现象出现的条件及其可观性，交代理论推导中认识的由来和发展，以便别人以此为依据进行核实验证，对结果进行分析后所得的结论和推论，也应说明其使用的条件与范围。恰当运用表和图作结果与分析，是科技论文通用的一种表达方式。

6．结论

结论包括对整个研究工作进行归纳和综合而得出的总结；所得结果与已有结果的比较以及在本课题的研究中尚存在的问题；对进一步开展研究的见解与建议。它集中反映作者的研究成果，表达作者对所研究课题的见解和主张，是全文的思想精髓，是文章价值的体现。一般写得概括、篇幅较短。撰写时应注意下列事项：

（1）结果要简单、明确。在措辞上应严密，容易被人领会。

（2）结果应反映个人的研究工作，属于前人和他人已有过的结论可不提。

（3）要实事求是地介绍自己研究的成果，切忌言过其实，在无充分把握时，应留有余地。因为对科学问题的探索是永无止境的。

7．注释

如有引用他人成果的，一定要有注释。不管在论文的哪一部分，采用到前人的观点、方法、结论、成果时，都必须注明其来源。如不这样做，就有抄袭、剽窃、侵权之嫌。

8．参考文献与附录

参考文献与附录是毕业论文不可缺少的组成部分。它反映毕业论文的取材来源、材料的广博程度及可靠程度。一份完整的参考文献也是向读者提供的一份有价值的信息资料。引用参考文献时，必须注意写法的规范性。

此外，有些不宜放在正文中，但有参考价值的内容，可编入论文的附录中，如公式的推演、编写的算法语言程序等。

如果论文中引用的符号较多，为了节省论文的篇幅，并且便于读者查对，可以编写一个符号说明，注名符号所代表的意义。

9．谢辞

谢辞是在论文的结尾处，以简短文字，对课题研究与写作过程中曾给予支持的人员，如指导老师及其他的人员，表示自己的谢意。这不仅是一种礼貌，也是对他人劳动的尊重，是治学者应有的思想作风。

4.5、毕业设计（论文）格式要求

1．毕业设计（论文）要求使用学校统一的封面格式，计量单位以国际单位制造（SI）为基础；公式、图表应按顺序编号，并与正文对应。

2．图纸尺寸按国家标准，图面整洁、布局合理、线条粗细均匀、圆弧连接光滑、尺寸标注规范、文字注释用工程字书写，图表须按规定要求或工程要求绘制。

3、插图、表格、公式

a.插图

所有插图按分章编号，如第1章的第1张插图为“图1－1”，所有插图均需有图注(图的说明)，图号及图注应在图的下方居中标出；

一幅图如有若干幅分图，均应编分图号，用(a),(b),(c)......按顺序编排；

图形符号及各种线型画法须按照现行的国家标准；

坐标图中坐标上须注明标度值，并标明坐标轴所表示的物理量名称及量纲，应均按国际标准(SD)标注，例如：kW,m/s,N,m....等，但对一些示意图例外；

(7)图中用字五号宋体加粗；

b. 表格

(1)表格应按章编号，如表2-1，并需有表题；

(2)表号表题置表格上方居中排列；

(3)表格的设计应紧跟文述，基为大表或作为工具使用的表格，可作为附表在附录中给出；

(4)表中各物理量及量纲均按国际标准(SI)及国家规定的法定符号和法定计量单位标注；

c.公式

(1)公式均需有公式号；

(2)公式号按章编排，如式(2－3)；

(3)公式中各物理量及量纲均按国际标准(SI)及国家规定的法定符号和法定计量单位标注，禁止使用已废弃的符号和计量单位；

(4)公式中用字、符号、字体要符合学科规范。

3．参考文献以引用先后顺序编号（注于正文相应处），必须引用直接阅读的原文文献，已录用待发表的文章需引用时，必须注明刊物名称。请在文献题目后给出文献类型标识（专著[M]、论文集

[C]、学位论文[D]、报告[R]、期刊[J]、标准[S]、专利[P]。具体格式如下：

①科技书籍和专著：编著者．译者．书名[M]（文集用[C]）．版本．出版地：出版者，出版年．页码．

②科技论文：作者．篇名[J]．刊名，出版年，卷号（期号）：页码．

4.6、毕业设计（论文）书写式样

（一）、页面设置：上2.54cm,下2.54cm,左3.67cm,右2.67cm，页眉设置为：居中，页眉之下划一条线，用5号字宋体，页眉用论文的名字；页脚设置为：插入页码，页码为阿拉伯数字，居中，5号字宋体。

（二）、目录：“目录”两字小三号宋体加粗，目录内容小四号宋体。

（三）、摘要

中文摘要：标题小二号宋体加粗，“摘要”两字四号宋体，摘要内容小四号宋体，“关键词”三字小四号宋体加粗，

英文摘要：标题小二号Times New Roman 体加粗，“Abstract” 四号Times New Roman 体；“Abstract” 内容小四号Times New Roman 体，“Keyword”小四号Times New Roman 体加粗。

（四）、正文：标题四号宋体，正文内容小四号宋体，行间距1.5倍,。

（五）、图表：图表内容五号宋体。

（六）、参考文献：参考文献用四号宋体，参考文献内容小四号宋体，其中英文用小四号Times New Roman 体。

（七）、致谢：致谢两字四号宋体，致谢内容小四号宋体。

（八）、打印要求：论文封皮封底用浅色皮纹纸打印，论文正文（设计说明书）应使用A4纸单面打印。

（九）、毕业设计（论文）的装订、归档

⑴ 毕业设计（论文）的装订顺序为：①封面；（请到教务处网站下载学校统一封面）②中文题目、摘要、关健词；③英文题目、摘要、关健词；④目录；⑤正文；⑥参考文献；⑦致谢。

⑵毕业设计（论文）的资料归档内容为：①已装订成册的毕业设计（论文）文本；②毕业设计（论文）过程管理手册；③学生参加生产实习的日记，实习技术报告，实习单位的鉴定、评价意见等材料；④学生毕业设计（论文）收集的相关材料、以及设计类作品或光盘、电路板、图纸、实物可一并装入毕业设计（论文）的资料袋中；毕业设计（论文）的资料袋由教务处统一发放。（资料袋封面请到教务处网站下载并填入相应数字然后贴在资料袋上）。

具体书写式样见附录1：

5 毕业设计(论文)成绩评定、评审和验收参考标准

毕业设计的成绩评定等级分为优秀、良好、中等、及格和不及格共五个档次。一般应严格依照这些成绩评定标准执行。

5.1 优秀（相当于90分及以上）

（1） 全面独立地完成设计任务，能灵活、正确、综合地运用所学的专业理论知识；

（2） 观点明确，能深入进行分析，有很强的分析问题和解决问题的能力，并有独到见解。

（3） 理论联系实际，在技术或学术上有一定的现实意义。系统设计规划合理，有一定的创新

性；交互功能和实用功能强，有良好的视觉效果。

（4） 设计的系统具有较好的实用价值，能解决企业生产经营过程中的实际问题。

（5） 论文写作论点鲜明，论据充分，重点突出，语言简炼，设计结果正确，文笔流畅，表述

规范。

5.2 良好（相当于80-89分）

（1） 较好地独立完成设计任务，能较好地综合运用所学知识，方案论证分析正确、合理。

（2） 能够运用所学知识，理论联系实际，观点明确，分析比较深入，有较强的分析问题和解

决问题的能力。

（3） 设计的系统具有一定的实用价值，可为解决企业生产经营过程中的实际问题提供帮助。

（4） 论文写作论点较鲜明，重点较突出，表达较规范，设计结果正确，文笔较准确和流畅。

5.3 中等（相当于70-79分）

（1）

（2）

（3）

（4） 能完成规定设计任务，能运用所学知识进行设计。方案论证分析基本正确合理。 能够理论联系实际，观点较明确，有一定的分析问题和解决问题的能力。 设计的系统具有潜在的使用价值，可为解决企业生产经营过程中的实际问题提供帮助。 论文写作论点正确，重点较突出，表达较规范，设计结果基本正确，叙述较清楚和通顺。

5.4 及格（相当于60-69分）

（1） 能基本完成规定的设计任务，能将所学的知识进行简单应用；方案论证分析基本正确，

但内容尚欠充实。

（2） 观点基本正确，有一定的分析问题和解决问题的能力。

（3） 设计的系统具有潜在的使用价值，可为解决企业生产经营过程中的实际问题提供一定的

参考。

（4） 论文写作论点基本正确，设计基本符合要求，但叙述稍欠清楚。

5.5 不及格（相当于59分以下）

（1） 未能按质按量完成设计要求，设计方案有重大原则性错误，网站设计规划和论文杂乱无

章，不规范，达不到规定的最低要求。

（2） 不符合党和国家的有关方针和政策，或在经济理论上有原则性错误，未掌握已学的有关

专业知识，技能差。

（3） 设计的作品无价值可言，也不能正常展示。

（4） 抄袭他人成果、完全仿制者。

（5） 选题超出专业范围。

（6） 设计工作量严重不足。

（7） 构成网站的Web页面全部是静态页面，没有任何交互功能的动态页面，无法实现电子商

务网站的最基本的功能（如没有开设有关动态编程技术课程，则可暂时不做这一要求，

但应实现电子商务网站的基本框架）。

凡具有以上条款之一者，应判为不及格。

6、毕业设计（论文）的时间和工作进度安排

毕业设计要求在规定时间内（应在第四学期期末考试前）完成。毕业论文进度安排如下说明。

6.1论文准备阶段

? 公布毕业设计（论文）的分组名单以及指导教师名单：

? 分专业进行毕业论文动员，学生与指导教师见面，布置毕业论文的写作格式、要求、方法、

注意事项等，并确定指导教师和学生之间的联系方式。

6.2 搜集资料、形成论文写作提纲阶段

? 学生调研、收集和查找资料，并在教师指导和帮助下选定论文题目，列出论文的初步写作

和实施提纲，交指导教师审核。

? 学生通过对所搜集的资料认真阅读、分析、整理，并在此基础上对论文写作提纲作进一步

修订，形成论文的写作提纲，交指导教师审核。

? 提交写作提纲的截止日期（指导老师确定）

? 写作提纲要求包含：现有系统的分析、本设计要实现的系统与现有系统的主要区别和比较、

现有系统的功能模块、方案论证、可行性分析、工作进度计划等。

? 指导教师审阅写作提纲并返回学生：

6.3 毕业设计（论文）实施和写作阶段

? 学生实施毕业设计任务的系统分析和实现（包括系统总体设计、系统各模块的详细设计、

数据库设计和各模块之间的接口设计、部分或关键部分的编码实现等），同时选写毕业论

文初稿，交指导教师审阅。

初稿提交截止日期：（指导老师确定）

指导教师提出具体可行的修改意见，并将论文初稿返回学生。

学生完成全部编码的实现、运行测试与修正，同时完成毕业论文的第二稿的写作、编辑和

修改，并交指导教师审阅，指导教师对论文的第二稿提出修改意见，并将论文第二稿返回

学生。

毕业设计（论文）第二稿提交的截止日期（指导老师确定）

指导教师评阅与审定论文毕业设计（论文）第二稿并返回学生。

毕业设计（论文）第三稿（论文定稿）的选写、编辑与修改。学生将毕业论文定稿（用A4纸打印）装订成册交指导教师。

毕业设计（论文）第三稿（论文定稿）提交的截止日期（指导老师确定）

指导教师评阅与审定论文，并为每个学生写出书面评语。 ? ? ? ? ? ? ? ?

6.4 论文答辩及成绩评定、终审阶段

?

?

?

毕业论文答辩日期（通知为准） 毕业论文成绩评定和毕业论文终审。 毕业论文验收。

附录1、目录式样 目 录

摘要

Abstract 第一章 GaN1 .1 III族氮化物材料及其器件的进展与应用 1.1.1 III1.1.2 III族氮化物材料及其器件的进展?????????????????3

1. 2 III族氮化物的基本结构和性质 ????????????????4

1. 3 掺杂和杂质特性 ?????????????????????????12

1. 4 氮化物材料的制备 ??????????????????????13

1. 5 氮化物器件 ???????????????????????? 19

1. 7 本论文工作的内容与安排 ?????????????????? 24

第二章 氮化物MOCVD生长系统和生长工艺 ????????????????31

2. 2本论文氮化物生长所用的MOCVD设备 ????????????????32 结论 ????????????????????????????????? 136 参考文献（References）??????????????????????????138 致谢 ????????????????????????????????? 150

2、摘要式样

（1）中文摘要式样

III-

LED外延片的MOCVD

生长和性质研究

摘 要宽禁带III测器以及高频和大功率电子器件等方面有着广泛的应用前景。自19xx年日本日亚化学工业公司率先在国际上突破了GaN基蓝光LED外延材料生长技术以来，美、日等国十余家公司相继报导掌握了这项关键技术，并分别实现了批量或小批量生产GaN基LED。尽管如此，这项高技术仍处于高度保密状态，材料生长的关键思想及核心技术仍未公开，还无法从参考文献及专利公报中获取最重要的材料生长信息。本论文就是在这种情况下立题的，旨在研究GaN基材料生长中的物理及化学问题，为生长可商品化的高亮度GaN基LED外延材料提供科学依据。

本文在自制常压MOCVD和英国进口MOCVD系统上对III－Ⅴ族氮化物的生长机理进行了研究，对材料的性能进行了表征。通过设计并优化外延片多层结构，生长的蓝光LED外延片质量达到了目前国际上商品化的中高档水平。并获得了如下有创新和有意义的研究结果：

1．首次提出了采用偏离化学计量比的缓冲层在大晶格失配的衬底上生长单晶膜的思想，并在GaN外延生长上得以实现。采用这种缓冲层，显著改善了GaN外延膜的结晶性能，使GaN基蓝光LED器件整体性能大幅度提高，大大降低了GaN基蓝光LED的反向漏电流，降低了正向工作电压，提高了光输出功率。

????

本文得到了国家863计划、国家自然科学基金以及教育部发光材料与器件工程研究中心项目的资助。

关键词：氮化物； MOCVD； LED；卢瑟福背散射沟道；光致发光；光透射谱

1

wavelength lasers, ultraviolet detectors, high temperature and high power electronic devices. Study on physics issues and technologies of nitrides open a new area of 3th generation semiconductor.

More than ten companies in America and Japan reported to have developed the nitrides growth technology since Nichia company in Japan first realized the commercialization of GaN based blue LED in 1994.

In this thesis,GaN and its ternary were grown by a home-made atmosphere pressure metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD) and Thomas Swan 6×2” MOCVD systems. High bright blue LED wafers were obtained by optimizing the nitrides growth technology and wafer structure. Some encouraging results are following as:

1. We present the idea of using a buffer layer of deviation from stoichiometry for materials growth on large lattice mismatch substrates. This idea was realized in nitrides growth in this thesis. The epilayer crystalline quality was improved and the dislocation density was decreased by using GaN low and high temperature buffer layers of deviation from stoichiometry. The RBS/channeling spectra exhibited that the minimum yield χmin of GaN layers was just only 1.5%. The leak electric current of GaN based LED was obviously decreased and lower than 1μA at 5 volt reverse voltage by using this new buffer technology.

????

This work was supported by 863 program in China.

；RBS/channeling；Optical

2

3、正文式样

1章 GaN

1 .1 III1.1.1 III族氮化物材料及其器件的进展

在科学技术的发展进程中，材料永远扮演着重要角色。在与现代科技成就息息相关的千万种材料中，半导体材料的作用尤其如此。以Si为代表的第一代半导体诞生于20世纪

40年代末，它们促成了晶体管、集成电路和计算机的发明。以GaAs为代表的第二代半导体诞生于20世纪60年代，它们成为制作光电子器件的基础。III－Ⅴ族氮化物半导体材料及器件研究历时30余年，前20年进展缓慢，后10年发展迅猛。由于III族氮化物特有的带隙范围，优良的光、电性质，优异的材料机械和化学性能，使得它在短波长光电子器件方面有着广泛的应用前景；并且非常适合制作抗辐射、高频、大功率和高密度集成的电子器件。III－Ⅴ族氮化物半导体材料已引起了国内外众多研究者的兴趣。 ????

1．2 III族氮化物的基本结构和性质

????

4、图表式样

（1）表式样

表1-1用不同技术得到的带隙温度系数、Eg0、?c和0

（2）图式样

加热电阻

―――□―――■■―――□――→气流 测温元件 测温元件

图1-1 热风速计原理

图2-1 DDS方式

附录2： 经管系毕业设计（论文）团队申请表