PE色差（制绒整改）实验报告

PECVD ( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition ) 或射频等使含有薄膜组成原子的气体，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜的过程，所以PECVD可以看做是一个微小固体颗粒在基板上淀积的过程。

色差：以下3点是引起色差的最主要原因：

1. 原硅片：原硅片的切割导致制绒面不平整，原生产的硅锭本体构成不均匀，导致切割后硅片有色差存在。

2. 制绒段：槽式制绒设备有自身的缺陷性。在槽中，存在上下层温度差异，反应的浓度差异（进槽时加液存在差异，反应中槽中循环不良造成的上下层浓度的差异），这涉及到设备改造的问题。现有工艺中反应时间很短（120S），本身制绒工艺是一个反应非常剧烈的反应，因此，之前设备的所引起的差异被加剧，造成绒面不均匀，引起色差。

3. PE段：由于气流量、舟、管的一些限制，工艺上的调整问题，引起一系列的色差。

对于以上1,3点的建议：

（1）在购买原硅片要确定原硅片质量，对过期，黑心，以及其他一

切不良的硅片需要有一个合理的检验标准，把好原材料关。

（2）PE段，由PE段工艺员配合负责。

以下详细对第2点进行阐述：

调节绒面的均匀性由下面几项进行说明：

（1） 减少整体溶液的浓度，使反应的速率降低，适当的加大缓冲剂

水的量，降低反应时的速度。

（2） 延长反应的时间，让反应的绒面尽量处于饱和状态。

（3） 原工艺和现在有工艺对比：

原工艺：HNO3:HF:H20=360:70:170 制绒时间：120s-140s 实验工艺：HNO3:HF:H20=260:40:150 制绒时间 180s-220s 原精补：HF:H2O:HNO3=0.8：0：1.0

现在精补：HF:H2O:HNO3=0.6：0.05：0.9

原制绒温度： 8°-10°

实验制绒温度：6.5°-7°

（4） 两个工艺制绒后各项数据对比：

原工艺减重：0.35g-0.45g

实验工艺减重：0.3g-0.5g 较大一点

原工艺外观：有不均匀的部分，主要表现在边缘部分，无网纹 实验工艺外观：基本没有不均匀部分，无网纹

原工艺显微镜下绒面：大小并不均匀

实验工艺显微镜下绒面；大小均匀，但是较正常绒面大一些

（5） 实验工艺对各段工艺的影响：

A. 制绒段：绒面均匀，外观块会比以前好很多，但是绒面偏大，

减重比之前大一些，工艺的调试窗口比之前大很多，影响很大。

B. 扩散段：本段的工艺基本上和绒面的关系不大，主要还是原硅片检测一块，影响很小。

C. PE段：

1、 色差由之前总量10%-20%下降到现在5%以内

2、 由于绒面比较大，由D8反射测量的反射率要比之前反射率

略高。

3、 绒面做大后，在单位的气相沉积时，腐蚀坑处比表面积变

小，沉积的粒子变少，整体看来外观会显得厚一些，所以

PE段必须减少相应的时间来配合。

整体影响大

D．丝印段：

1、整体的绒面做大有利于印刷，

2、反射率大影响ISC，但是其他的部分影响不大。

整体影响大

另附24,25,27,28日硅片效率表

结论：制绒段的调整，是以PE段配合与牺牲一些ISC为前提的，整体的绒面以及PE段色差情况良好，后续需要做更多的配合实验，消除这块带来的负面影响，之后的一个有关效率的工艺实验能解决配合问题，提高一部分的ISC。

损伤层的厚度大约为10微米，要去除损伤层，减重为：15.6X15.6X2.53X20X10-6=0.012314016g即可。

 

第二篇：PE病毒实验报告

PE病毒实验报告

姓名：佟蕊 学号：201224010138 班级：12计本非师 学院：信息学院

一、PE病毒种类：

pe文件是windows下的一个32位文件格式，在windows系统中广泛存在，该文件格式是病毒喜欢感染的类型。

win32.tenga

该病毒式一个win32pe感染型病毒，可以感染普通pe exe文件并把自己的代码加到exe文件尾部。

win16.hllp.hiro.10240

该病毒式利用pascal编写的病毒，不会驻内存中，包含“hiroshima end 000 v1.2000:0000”字符串。该病毒在windows目录中寻找exe文件并将自身复制到开始文件夹 中

win16.hllp.hiro.10240

该病毒式利用pascal编写的病毒，不会驻内存中，包含“hiroshima end 000 v1.2000:0000”字符串。该病毒在windows目录中寻找exe文件并将自身复制到开始文件夹 中

2001 tokugawa

此病毒查找类似下的文件，但它对反病毒程序文件不起作用。

win32.sankey

该病毒是一个非常危险的win32病毒，它会在当前目录和被破坏的文件中搜索exe文件并感染它们，当感染了一个exe文件后，病毒会在文件中创建一个名为“kaze/fat”的片段。

二、PE病毒的删除以及运作原理：

病毒在安全模式下删除：

病毒是将可执行文件的代码中程序入口地址，改为病毒的程序入口，这样就会导致用户在运行的时候执行病毒文件：

三、总结

本次实验让我了解了PE病毒的种类以及运行原理。更加重要的是知道了病毒带来的危害。这样这以后的工作生活中就尽量避免下载到病毒，即使下载到病毒也会在安全模式下去删除它。